서울시립대 물리학과 장영준, 한문섭, 최은집 교수 연구팀이 경희대 박용섭 교수와 함께 낸드플래시 메모리 반도체의 핵심 물질을 신속하게 분석하는 새로운 기법을 개발했다. 연구팀은 3차원 낸드플래시 메모리 소자에서 실리콘 질화물이 전하 트랩층으로 중요한 역할을 하는데도 불구하고 작동 과정을 분석할 방법이 부족하다는 문제에 주목했다.

연구팀은 고해상도의 타원분광법과 전자에너지손실분광법을 통합한 새로운 분석법을 고안했다. 이 기술은 미래 반도체 소재 연구에 새로운 패러다임을 제시할 것으로 기대된다.

정리 황혜민 기자 hyemin@naeil.com