순수 국내 기술력으로 초미세 불순물을 획기적으로 흡착할 수 있는 ‘반도체 제조공정용 활성탄’이 개발됐다.

월드카본은 한국화학연구원과 공동 연구개발을 통해 ‘코크스 기반 활성탄’을 ‘반도체 제조공정용으로 특화된 활성탄’으로 개발했다고 7일 밝혔다.

한국화화연구원은 코크스 활성탄 원천 기술개발 연구결과를 월드카본에 이전했다. 반도체 제조공정용 활성탄은 반도체 소재·부품·장비 중 핵심 소재다. 반도체 제조 과정에서 순수와 초순수, 가스 흡착, 폐수 처리 등에 정밀하게 활용된다. 현재 반도체 제조공정용 활성탄은 100% 수입에 의존하고 있다.

월드카본과 화학연이 개발한 활성탄 원료인 코크스는 원유 정제 과정에서 버려지는 석유 ‘잔사유(찌꺼기)’를 재활용한 것으로 탄소 감량 효과까지 검증됐다.

또한 기술 개발의 핵심인 활성탄의 비표면적이 1g당 3000㎡/g으로 기존 활성탄(석탄계.야자계)의 1g당 1500㎡/g 대비 약 두 배에 달한다는 점에서 기술력을 높게 인정받고 있다. 비표면적이 넓을수록 불순물 흡착 능력이 뛰어나며 미세 기공률이 향상돼 불순물을 효과적으로 제거할 수 있다는 의미다.

월드카본은 이번 개발 성과를 기반으로 베트남 호치민시에 현지 법인을 설립, 베트난 현지 활성탄 제조업체인 ‘GLOBAL CARB’와 OEM 생산을 위한 업무협약(MOU)을 체결했다.

또한 활성탄 국내 생산을 위해 연간 3만6000톤 규모의 공장 설비를 갖춰 본격적으로 국내 생산에 돌입 할 예정이다.

한편 월드카본은 이번 개발 성과를 기반으로 베트남 호치민시에 현지 법인을 설립하고, 베트난 현지 활성탄 제조업체인 ‘GLOBAL CARB’와 위탁생산(OEM)을 위한 공동 업무협약(MOU)을 체결했다. 또한 활성탄 국내 생산을 위해 연간 3만6000톤 규모 공장 설비를 갖춰 본격적으로 국내 생산에 돌입 할 예정이다.

장정원 월드카본 대표는 “한국화학연구원과 함께 국내 최초로 반도체 제조공정용 고성능 활성탄을 국산화하게 되어 매우 뜻깊다”며. “국내 주요 반도체 업체에서 실증단계를 성공적으로 마쳤다”고 말했다.

고성수 기자 ssgo@naeil.com